본문내용 바로가기

연구원소개 바로가기
  • KETI대표기술
  • 상담신청
  • 개방형IoT 오픈소스 연합체
  • 교육훈련지원
  • 연구자카드
  • 미세먼지

KETI 보유기술

펠리클 프레임, 펠리클, 및 그의 제조 방법

Key Word

통기성 세라믹 3차원 구조체 | 리소그래피용 펠리클 프레임 | EUV 노광 | 폴리머 메쉬

기술성숙도(TRL)

5단계 | Pilot규모의 시작품 제작 및 성능 평가

기술개요

세라믹 원소재 필름과 폴리머 메쉬를 교대로 적층하고 열압착·열처리·소결 과정을 거쳐 제작된 통기성 세라믹 3차원 구조체와 이를 활용한 EUV 리소그래피용 펠리클 프레임에 관한 기술임

기술특징

- 세라믹 필름과 폴리머 메쉬를 교차 적층하여 열압착하고, 열처리로 메쉬를 제거하여 방향성 있는 유로를 형성하며, 최종적으로 소결을 통해 구조적 강도를 확보
- 이 유로는 XY 평면상으로만 통기성을 부여하고 Z축 방향은 치밀하게 하여 강도를 강화
- 이로써 EUV 리소그래피 공정 중 발생하는 압력차 완화와 입자오염 방지를 동시에 달성하며, 특히 펠리클 프레임 자체가 입자오염원이 되는 것을 방지
- 높은 정밀도와 청정성이 요구되는 EUV 노광 공정에서 이상적인 펠리클 프레임 소재로 활용 가능

특허 및 권리현황

지식재산권 현황 리스트
특허명 특허번호
통기성 세라믹 3차원 구조체, 그를 이용한 리소그래피용 펠리클 프레임, 펠리클, 및 그의 제조 방법 10-2781064
목록