나노랩 집속이온빔 |
UX5 |
Thermo Fisher Scientific/미국 |
소재부품 미세구조 분석, 성분분석, TEM시료제작, 반도체 회로수정 |
집속이온빔 (FIB) |
Quanta3D FEG |
FEI/네덜란드 |
미세가공, 회로 수정, 고장분석, 성분분석, TEM 시료 제작 |
에너지분산분광기 (EDS) |
APPOLO 40 |
EDAX/미국 |
성분 및 조성분석 |
전자후방회절산란 (EBSD) |
Symmetry |
Oxford Instruments/영국 |
결정학적 특성분석, 결정배향/크기 분석 |
하이퍼스펙트럴공초점라만분광기 |
HEDA-SERA |
NOST/한국 |
라만분석, EL 및 PL 스펙트럼 분석 |
초음파현미경 (SAM) |
Vega |
Acoulab/한국 |
초음파 비파괴 검사 (C-scan, A-scan) |
3D CT X-ray |
XT V160 |
X-TEK/영국 |
3차원 단층촬영, 비파괴 검사 |
3D 디지털 광학현미경 |
KH-8700 |
Hirox/일본 |
부품소재의 미세분석, 표면 프로파일 |
비디오 마이크로스코프 |
Camscope |
Sometech/한국 |
외관관찰, 부품의 크기 측정 |
광학현미경 |
DM 4000M |
LEICA/독일 |
미세관찰, 부품의 크기 측정 |
투과전자현미경 (TEM) |
ARM200 |
JEOL/일본 |
극미세구조 분석, 성분분석, 결정학적 특성 분석 |