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보유장비

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담당자 정보 :
한송희 연구원 031-789-7294, hsh@keti.re.kr

광학/전자현미경 분석 장비류

장비리스트
장비명 모델명 제조사/제조국 기타
나노랩 집속이온빔 장비상세 보기 UX5 Thermo Fisher Scientific/미국 미세구조 분석, 성분분석, TEM시료제작, 반도체 회로수정
집속이온빔 (FIB)장비상세 보기 Quanta3D FEG FEI/네덜란드 미세가공, 회로 수정, 고장분석, 성분분석, TEM 시료 제작
에너지분산분광기 (EDS)장비상세 보기 Ultim Max100 Oxford Instruments/영국 성분 및 조성분석
전자후방회절산란 (EBSD)장비상세 보기 Symmetry Oxford Instruments/영국 결정학적 특성분석, 결정배향/크기 분석
하이퍼스펙트럴공초점라만분광기 장비상세 보기 HEDA-SERA WEVE/한국 라만분석, EL 및 PL 스펙트럼 분석
고분해능 초음파현미경(SAM)장비상세 보기 Gen7 Nordson/미국 초음파 비파괴 검사 (C-scan, A-scan)
3D CT X-ray장비상세 보기 XT V160 X-TEK/영국 3차원 단층촬영, 비파괴 검사
3D 디지털 광학현미경장비상세 보기 KH-8700 Hirox/일본 부품소재의 미세분석, 표면 프로파일
광학현미경장비상세 보기 BX53MRF 올림푸스/일본 미세관찰, 부품의 크기 측정
투과전자현미경 (TEM) ARM200 JEOL/일본 극미세구조 분석, 성분분석, 결정학적 특성 분석
펄스 적외선 고장분석 시스템장비상세 보기 TIFAS Nanotest/독일 열 이미지 기반 고장 분석

열 분석 장비류

장비리스트
장비명 모델명 제조사/제조국 기타
시차주사열량계(DSC)장비상세 보기 Diamond DSC PerkinElmer/미국 부품 소재의 열성 측정 평가
열중량분석기(TGA)장비상세 보기 Pyris 1 TGA PerkinElmer/미국 부품 소재의 열성 측정 평가

특수 카메라류

장비리스트
장비명 모델명 제조사/제조국 기타
고속카메라장비상세 보기 V9.0 Phantom/미국 움직임을 고속으로 촬영

기계적특성 시험 장비류

장비리스트
장비명 모델명 제조사/제조국 기타
본딩전단, 인장시험기장비상세 보기 DAGE4000PLUS Nordson/미국 접합부의 기계적 강도 측정
열화후 전극 결착력 분석기장비상세 보기 SAICAS EN-EX DAIPLA WINTES/일본 소재부품의 결착력 시험평가,분석
굴절시험기장비상세 보기 MIT-DA Toyoseik/일본 내절성 평가

기타 분석/시편 전처리 장비류

장비리스트
장비명 모델명 제조사/제조국 기타
저온 이온빔 단면가공기장비상세 보기 IB-19520CCP JEOL/일본 반도체 및 관련 소재의 전자현미경 분석용 시료 전처리
Decapsulation station장비상세 보기 MA2005A MIS/한국 반도체 패키징 제거
Solderability Tester장비상세 보기 RPS Pulsar HENTEC/미국 솔더 젖음력 평가
리플로우 시험기장비상세 보기 RO400FC essemtec/스위스 신뢰성 규격(AEC-Q, JEDEC 등)에 따른 솔더링 테스트
UV/Vis spectrophtometer T90 PG Instrument/영국 투과, 반사, 흡수 측정
자동기계연마기장비상세 보기 MetPrep 3™ PH-3™ Allied/미국 고장분석을 위한 시료 전처리
수동정밀기계연마기장비상세 보기 MetPrep 1x™ Allied/미국 고장분석을 위한 시료 전처리
진동연마기장비상세 보기 Pol-V 300™ Allied/미국 EBSD 등 시료 전처리