집속이온빔 (FIB) |
Quanta3D FEG |
FEI/네델란드 |
미세가공, 회로 수정, 고장분석, 성분분석, TEM 시료 제작 |
주사현미경 (E-SEM) |
XL30 |
Philips/네델란드 |
미세조직 관찰, 성분분석 |
초음파현미경 (SAM) |
Titan |
Acoulab/한국 |
초음파 비파괴 검사(C-scan, A-scan) |
3D CT X-ray (Horizontal Type) |
HMXT 160TT |
X-TEK/영국 |
3차원 단층촬영, 비파괴 검사 |
3D CT X-ray (Vertical Type) |
XT V160 |
X-TEK/영국 |
3차원 단층촬영, 비파괴 검사 |
3D 디지털 광학현미경 |
HK-8700 |
HiRox/일본 |
부품소재의 미세분석, 표면 프로파일 |
비디오 마이크로스코프 |
Camscope |
Sometech/한국 |
외관관찰, 부품의 크기 측정 |
광학현미경 |
DM 4000M |
LEICA/독일 |
미세관찰, 부품의 크기 측정 |
투과전자현미경 (TEM) |
ARM200 |
JEOL/일본 |
극미세구조 분석, 성분분석, 결정학적 특성 분석 |